附錄G 潔凈室氣密性檢測方法 G．1 原 理 G．1．1 保持室內(nèi)為正壓或負(fù)壓均能滿足檢驗(yàn)要求，但條件允許時(shí)，負(fù)壓潔凈室宜用正壓檢驗(yàn)，正壓潔凈室宜用負(fù)壓檢驗(yàn)。 G．1．2 可按以下方法進(jìn)行檢測： 1 壓力衰減法 使室內(nèi)達(dá)到某一壓力(正壓或負(fù)壓)，關(guān)閉加壓或抽負(fù)壓系統(tǒng)，觀察壓力隨時(shí)間衰減的情況，記錄下壓力衰減到起始壓力的一半時(shí)所用的時(shí)間，即為測量室內(nèi)正壓或負(fù)壓的半衰期。 2 恒壓法 使室內(nèi)達(dá)到某一正壓，同時(shí)向室內(nèi)補(bǔ)氣，使室壓達(dá)到要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的補(bǔ)氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達(dá)到某一負(fù)壓，使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時(shí)的抽氣量即為漏泄量。 G．2 壓力衰減法 G．2．1 測試系統(tǒng)如圖G．2．1所示。 G．2．2 可按以下步驟進(jìn)...